随着
个又个与仿真预估无二
报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！
众人憋着口气没出声，就等着盛明安总结。
盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“
们科研项目，激光等离子体极紫外光刻光源是——”
“13.5nm！”
原本想欢呼众人脸上刚升起笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自己耳朵坏
，他们出现幻听。
助手姑娘猛然掐住杜颂胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎
样？！”
杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“不知道。”
助手姑娘又没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！
盛明安：“各组报告结果。”
来！
出闪亮耀眼白光，瞬间照亮黑暗内部，条细长发亮紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……
最终击中直径30μm靶材料（锡液滴）。
视角追随其中条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现数以万计紫色细长光线穿过个又个圆形长管最后以平均两次击中同靶材料电离锡原子，释放等离子体，激发纳米级光子，完成光刻机曝光步骤。
视角再向后拉远，饶是有着先进两百年科技技术系统也不由为这号称工业皇冠euv工作时内部所震撼。
激光经过多重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中等离子体。
盛明安语气里流泻出轻松笑意：“恭喜大家。”
见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”
林
众人振奋！
组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”
二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”
三组报告：“传感器反馈激光和液滴同步对准，激光等离子体在预估范围内捕获！”
四组报告……
接下来是利用收集镜收集等离子体发散euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终ic晶圆。
但盛明安团队没有做后面两步，只设计光源系统实验设计。
秒钟五万次高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……
所以次实验结果不能证明什，他们连续实验多次，记录数据作比对，计算出个最优概率。
键盘噼里啪啦计算，所有人屏息以待。
请关闭浏览器阅读模式后查看本章节，否则可能部分章节内容会丢失。
