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17 “运送垃圾”(3 / 7)

》(AboutOurCorporationMembers),《美国气象学会公报》(BulletinAmericanMeteorologicalSociety),1962年12月12日。克莱顿·琼斯,《计算机化激光快速制造微芯片电路》(ComputerizedLaserSwiftlyCarvesCircuitsforMicrochips)。20世纪70年代末,珀金埃尔默公司的扫描式光刻机主导了光刻市场,但到了20世纪80年代,它被GCA公司取代。GCA公司由一位前空军军官领导。他后来成为地球物理学家,名叫米尔特·格林伯格(MiltGreenberg),他是一位雄心勃勃、固执、满嘴脏话的天才。第二次世界大战后,格林伯格和一位空军伙伴利用洛克菲勒兄弟的种子资金成立了GCA。作为一名军事气象学家,格林伯格利用自己对大气层的了解和与空军的联系,成为一名国防承包商,生产高空气球等装备,用于测量和拍摄苏联照片。

采访格里夫·里索,2021年。《格里夫·里索谈光刻》(GriffResoronPhotolithography),半导体历史,YouTube视频,2009年1月30日,https://www.youtube.com/watch?v=OKfdHZCEfmY。格林伯格的野心很快就变得更大了。半导体行业的增长表明,真正的资金来自大众市场,而不是特别的军事合同。格林伯格认为,其公司用于军事侦察的高科技光学系统可以用在制造民用芯片上。20世纪70年代,在GCA为芯片制造商宣传其产品的一次行业会议上,TI的张忠谋走到GCA展台前,开始查看GCA的设备,并询问设备是否可以一步一步地移动,从而逐个将硅片上的每个芯片曝光,而不是一次扫描整个晶圆。这样的“步进式光刻机”比当时已有的扫描式准确得多。虽然以前从来没有设计过步进式光刻机,但GCA的工程师相信,他们可以创造出一个,以提供更高分辨率的成像,从而造出更小的晶体管。

《格里夫·里索谈光刻》,半导体历史,YouTube视频,2009年1月30日,https://www.youtub

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