39 EUV光刻机（5 / 7）

pplyChain:SettingtheBarHigherfortheHigh-TechIndustry），阿斯麦，https://www.asml.com/en/company/sustainability/responsible-supplychain。采访弗里茨·范霍特，2021年。2013年，范霍特接管了阿斯麦的EUV光刻业务。对于他来说，EUV光刻系统最关键的投资不是某个单一部件，而是公司的供应链管理技能。范霍特解释道，阿斯麦“像机器一样”设计了这个商业关系网络，产生了一个由数千家公司组成的能够满足阿斯麦严格要求的精细协调系统。他估计，阿斯麦本身只生产了EUV光刻机部件的15%，其余部分是从其他公司购买的。这使得阿斯麦可以获得世界上最精细的产品，但它需要不断地监控。

新闻稿：《蔡司和阿斯麦将在21世纪20年代初加强下一代EUV光刻的合作关系》（PressRelease:ZEISSandASMLStrengthenPartnershipforNextGenerationofEUVLithographyDueinEarly2020s），阿斯麦，2016年11月3日，https://www.asml.com/en/news/press-releases/2016/zeiss-and-asmlstrengthen-partnership-for-next-generation-of-euv-lithography。采访阿斯麦供应商高管，2021年。阿斯麦别无选择，只能依靠单一来源获得EUV光刻系统的关键部件。为了管理这一点，阿斯麦深入了解其供应商的源头，以了解风险。阿斯麦以投资形式回报某些供应商，比如2016年支付给蔡司10亿美元，为蔡司的研发提供资金。这样，所有供应商都达到了严格的标准